Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende termoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer og Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Termoanalytiske undersøgelser er allerede etablerede metoder til materialekarakterisering. Gennem kombination eller sammenkobling af teknikker kan der opnås vigtige oplysninger om materialernes egenskaber, som anvendes til fremstilling af halbleiterelementer. Ved hjælp af gasfaseanalyser kan udgasningsprocesser karakteriseres og undersøges, og zersetzungsprocesser og verunreinigungen analyseres. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Disse egenskaber er af afgørende betydning for anvendelsen af sådanne materialer til det avancerede knudedesign i halbleiterindustrien. Derudover vil kravene til den korrekte udførelse af målinger blive stadig større. Det må sikres, at også luftempfindlige og pyrofore materialer kan undersøges med termoanalytiske metoder. Derfor er en Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.