Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Metode termoanalitik yang lengkap untuk pengukuran karakterisasi material untuk Desain Simpul Lanjut di industri Halbleiter

Carsten Biebesheimer dan Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Penelitian termoanalitik merupakan metode yang sudah lama digunakan dalam pengukuran karakterisasi material. Melalui kombinasi dan penggabungan teknik dapat diperoleh informasi penting mengenai sifat-sifat material, yang dapat digunakan untuk menentukan komposisi bahan bakar yang dapat digunakan. Dengan bantuan Gasphasenanalysen, proses pembakaran dapat dikarakterisasi dan dipelajari, serta dianalisis Zerositas dan Verunreinigungennya. Selain itu, pemeriksaan juga dilakukan terhadap parameter fisik seperti Dampfdruck atau Verdampfungsraten. Persyaratan ini ditujukan untuk penggunaan material khusus untuk Desain Node Tingkat Lanjut dalam industri Halbleiter dengan makna yang sangat penting. Selanjutnya, persyaratan untuk mendapatkan hasil yang tepat dari pesan akan semakin meningkat. Ini harus lebih jelas, bahwa bahan yang dapat ditemukan di udara dan pirofor juga dapat diteliti dengan metode termoanalitik. Ini adalah percobaan pada peralatan di bawah kondisi lembam dengan daya tahan ultraniedrigem dan kinerja tinggi dengan nilai tertinggi.