Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende termoanalytiske metoder for karakterisering av prosessmaterialer for avansert nodeutforming i halbleiterindustrien

Carsten Biebesheimer og Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Termoanalytiske undersøkelser er allerede etablerte metoder i materialkarakteriseringen. Gjennom kombinasjon eller sammenkobling av teknikker kan man få viktig informasjon om egenskapene til materialer som brukes til produksjon av halvlederelementer. Ved hjelp av gassanalyse kan man kartlegge og undersøke avgassingsprosesser, samt analysere avsetningsprosesser og forurensninger. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Disse egenskapene er av avgjørende betydning for anvendelsen av slike materialer for avansert knutepunktdesign i halbleiterindustrien. I tillegg blir kravene til korrekt gjennomføring av målingene stadig mer krevende. Det må sikres at også luftempfindlige og pyrofore materialer kan undersøkes med termoanalytiske metoder. Derfor er en Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.