Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer i dr Christoph Körber, Merck KGaA

Badania termoanalityczne są powszechnie stosowanymi metodami w charakterystyce materiałów. Dzięki połączeniu lub zastosowaniu różnych technik można uzyskać istotne informacje na temat właściwości materiałów, które są wykorzystywane do produkcji elementów półprzewodnikowych. Mithilfe von Gasphasenanalysen können Ausgasungsprozes charakteryzisiert und untersucht sowie Zersetzungsprozesse und Verunreinigungen analysiert werden. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Te cechy mają istotne znaczenie dla zastosowania odpowiednich materiałów do zaawansowanego projektowania węzłów w przemyśle halowym. W związku z tym wymagania związane z prawidłowym wdrażaniem rozwiązań stają się coraz bardziej rygorystyczne. Es muss sichergestellt werden, dass auch luftempfindliche und pyrophore Materialien mit thermoanalytischen Methoden untersucht werden können. W związku z tym analiza probabilistyczna w warunkach obojętnych z ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt ma istotne znaczenie.