Fortskridande materialkarakterisering: Omfattande termoanalytiska metoder för karakterisering av processmaterial för avancerad noddesign i halbleiterindustrin

Carsten Biebesheimer och Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Termoanalytiska undersökningar är redan etablerade metoder för materialkarakterisering. Genom kombination eller koppling av tekniker kan viktig information om materialens egenskaper erhållas, som används för tillverkning av halbleiterbyggelement. Med hjälp av Gasphasenanalysen kan Ausgasungsprocesser karakteriseras och undersökas samt Zersetzungsprocesser och Verunreinigungen analyseras. Därtill hör även registreringen av fysikaliska parametrar som ångtryck och förångningsnivåer. Dessa egenskaper är av avgörande betydelse för tillämpningen av sådana material för den avancerade noddesignen i halbleiterindustrin. Dessutom kommer kraven på korrekt genomförande av mätningar att bli allt högre. Det måste säkerställas att även luftempfindliga och pyrofora material kan undersökas med termoanalytiska metoder. Därför är en Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.