Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Карстен Бибесхаймер и д-р Кристоф Кёрбер, Мерк КГаА

Термоаналитические исследования являются наиболее распространенными методами в определении свойств материалов. Благодаря сочетанию и применению технических средств можно получить важную информацию об особенностях материалов, которые используются при изготовлении элементов для галтелей. С помощью газового анализа можно охарактеризовать и исследовать аусгазовые процессы, а также проанализировать зерсетсунговые процессы и веронрайнигунгены. Кроме того, необходимо определить физические параметры, такие как Dampfdruck или Verdampfungsraten. Эти характеристики имеют большое значение для применения материалов для расширенного проектирования узлов в полупроводниковой промышленности. Таким образом, Anforderungen для корректного проектирования узлов становятся все более жесткими. Необходимо учесть, что также можно исследовать люфтовые и пирофорные материалы с помощью термоаналитических методов. Тем не менее, эйне Зондхандхабунг для мессенджеров без инертных подстилок с ультранидригемным Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt является очень важным фактором.