Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende Thermoanalytical Methods zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustry

Карстен Бібесхаймер та д-р Крістоф Кербер, Merck KGaA

Термоаналітичні дослідження є вже усталеними методами у визначенні характеристик матеріалів. За допомогою комбінації або поєднання методів можна отримати важливу інформацію про властивості матеріалів, які можуть бути використані для виготовлення напівпровідникових елементів. За допомогою газового аналізу можна охарактеризувати та дослідити процес видобутку газу, а також проаналізувати процес відновлення та регенерації. Для цього використовується також визначення фізичних параметрів, таких як швидкість потоку або коефіцієнт демпфування. Ці особливості мають вирішальне значення для застосування таких матеріалів для вдосконаленого дизайну вузлів у напівпровідниковій промисловості. Через це завжди зростають вимоги до правильного виконання завдань. Необхідно забезпечити безпеку, щоб також можна було досліджувати люфтвафферні та пірофорні матеріали за допомогою термоаналітичних методів. Тому в умовах інертного середовища з надвисокою температурою тепло- та вологовіддачею важливу роль відіграють випробування при передачі даних.