Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer e Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

As pesquisas termoanalíticas são métodos já consagrados na caracterização de materiais. Por meio da combinação e da aplicação de técnicas, é possível obter informações importantes sobre as propriedades dos materiais, que podem ser usadas para a fabricação de elementos de halogênio. Por meio de análises de gases, podem ser caracterizados e estudados processos de combustão, bem como processos de combustão e verificações analisadas. Além disso, também é importante a avaliação de parâmetros físicos, como o Dampfdruck ou os Verdampfungsraten. Essas características são de grande importância para o uso de materiais sólidos para o projeto de nós avançados na indústria de halteres. Além disso, as exigências para a aquisição correta de soluções são ainda mais urgentes. Deve-se entender que também é possível examinar materiais de luftempfindliche e piroforos com métodos termoanalíticos. Além disso, é de grande importância uma análise de amostras em ambientes inertes com características de fadiga e teor de resíduos ultranítidos.