Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer y Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Los estudios termoanalíticos son métodos utilizados hasta ahora en la caracterización de materiales. Mediante la combinación y el uso de técnicas se puede obtener información importante sobre las características de los materiales que se utilizan para la fabricación de revestimientos de paredes. Mediante el análisis de las fases gaseosas, se pueden caracterizar y estudiar los procesos de desgasificación, así como analizar los procesos de desintegración y las interacciones. También se analizan parámetros físicos, como el impacto de las descargas o la tasa de descarga. Estas características son de gran importancia para el uso de materiales únicos en el diseño avanzado de nodos en la industria de los semiconductores. Por otra parte, los requisitos para la ejecución correcta de las tareas son cada vez más exigentes. Es muss sichergestellt werden, dass auch luftempfindliche und pyrophore Materialien mit thermoanalytischen Methoden untersucht werden können. Por lo tanto, es de gran importancia la evaluación de la sensibilidad en el caso de las mezclas inertes con un contenido de azufre y de fosfato ultrarrígido.