短絡的材料分析: ハーフブレイター産業における先進ノード設計のための材料特性評価のための包括的な熱分析手法

カーステン・ビーベスハイマー＆クリストフ・ケルバー博士 メルクKGaA

熱分析試験は、材料分析においてすでに確立された方法である。このような手法の組み合わせや組み合わせによって、半導体の製造に使用される材料の特性に関する重要な情報を得ることができます。ガス相分析により、ガス発生過程の分析・調査や、ガス交換過程や反応過程の分析が可能である。その中には、湿度や湿度比のような生理学的パラメータの評価も含まれます。このような特性は、ハーフブレーカー業界における先進ノード設計に使用されるソリッド材料にとって非常に重要です。そのため、より効率的な設計のための要求がますます厳しくなっています。そのため、熱分析的手法によって、ルフトハンザやパイロフォア物質を調べることも可能である。そのため、不活性な環境下での超低温とザウアースオイル濃度の測定は非常に重要である。