Fortschrittliche Materialcharakterisierung : Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie (Caractérisation des matériaux de pointe pour la conception de nœuds avancés dans l'industrie de l'hélium)

Carsten Biebesheimer et Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Les analyses thermoanalytiques sont des méthodes déjà utilisées dans la caractérisation des matériaux. La combinaison et l'application de techniques permettent d'obtenir des informations importantes sur les caractéristiques des matériaux utilisés pour la fabrication d'éléments d'isolation thermique. L'analyse des gaz permet de caractériser et d'étudier les processus de gazéification, ainsi que d'analyser les processus de zonage et les réactions en chaîne. Il s'agit également de l'évaluation de paramètres physiologiques tels que le choc de l'ampoule ou la température de l'ampoule. Ces caractéristiques sont d'une importance capitale pour l'utilisation de matériaux solides pour la conception de nœuds avancés dans l'industrie des semi-conducteurs. En outre, les exigences relatives à l'exécution correcte des tâches sont de plus en plus importantes. Il faut s'assurer que les matériaux luftempfindliche et pyrophore peuvent également être analysés à l'aide de méthodes thermoanalytiques. Daher ist eine Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.