Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer a Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Thermoanalytische Untersuchungen sind bereits etablierte Methoden in der Materialcharakterisierung. Durch Kombination bzw. Kopplung von Techniken können wichtige Informationen über die Eigenschaften von Materialien gewonnen werden, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Mithilfe von Gasphasenanalysen können Ausgasungsprozesse charakterisiert und untersucht sowie Zersetzungsprozesse und Verunreinigungen analysiert werden. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Diese Eigenschaften sind für die Anwendung solcher Materialien für das Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Darüber hinaus werden die Anforderungen an die korrekte Durchführung von Messungen immer anspruchsvoller. Es muss sichergestellt werden, dass auch luftempfindliche und pyrophore Materialien mit thermoanalytischen Methoden untersucht werden können. Daher ist eine Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.