Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie (edistyksellinen solmusuunnittelu puolijohdeteollisuudessa)

Carsten Biebesheimer ja tohtori Christoph Körber, Merck KGaA

Thermoanalytische Untersuchungen sind bereits etablierte Methoden in der Materialcharakterisierung. Durch Kombination bzw. Kopplung von Techniken können wichtige Informationen über die Eigenschaften von Materialien gewonnen werden, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Mithilfe von Gasphasenanalysen können Ausgasungsprozesse charakterisiert und untersucht sowie Zersetzungsprosess und Verunreinigungen analysert werden. Dazu kuuluu myös die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Nämä ominaisuudet ovat die Anwendung solcher Materialien für das Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Darüber hinaus werden die Anforderungen an die korrekte Durchführung von Messungen immer anspruchsvoller. On varmistettava, että myös luftempfindliche und pyrophore Materialien mit thermoanalytischen Methoden voidaan tutkia. Daher ist eine Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.