Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer und Dr. Christoph Körber、 默克集团

热分析研究是材料特性分析领域的最新方法。通过各种技术的组合和应用，可以获得关于材料特性的重要信息，这些信息可用于制造高亮度材料。通过气相分析法，可以对气化过程进行分析和研究，也可以对气化过程和气化产物进行分析。此外，还包括对物理参数的分析，如阻力或压力。这些特性对于在半导体行业中应用先进节点设计的特殊材料具有重要意义。此外，对设计的要求也越来越高。因此，必须采用热分析方法对萤火虫和热释光材料进行研究。因此，在惰性环境下，使用热分析方法对具有超强热稳定性和吸附性的混合物进行试探是非常重要的。