Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer e Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Gli studi termoanalitici sono da poco metodi consolidati nella caratterizzazione dei materiali. Grazie alla combinazione e all'applicazione di tecniche, è possibile ottenere informazioni importanti sulle caratteristiche dei materiali, che vengono utilizzati per la produzione di elementi di Halbleiterbauelement. Con l'ausilio di analisi dei gas, è possibile analizzare e analizzare i processi di assestamento, nonché i processi di zersetzung e di verunreinigungen. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Queste caratteristiche sono importanti per l'utilizzo di materiali solidi per la progettazione avanzata di nodi nell'industria degli elettrodomestici. Inoltre, le esigenze di un'esecuzione accurata dei lavori sono sempre più pressanti. È importante sapere che anche le materie luftempfindliche e pirofore possono essere analizzate con metodi termoanalitici. Daher ist eine Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.