Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer en Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Thermoanalytische analyses zijn tot nu toe veelgebruikte methoden in de materiaalkarakterisering. Door de combinatie van technieken en de toepassing ervan kunnen belangrijke gegevens over de eigenschappen van materialen worden verkregen, die voor de verwerking van halbleiterelementen worden gebruikt. Met behulp van gasfasenanalyses kunnen Ausgasungsprozesse gekarakteriseerd en geanalyseerd worden, evenals Zersetzungsprozesse en Verunreinigungen. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Diese Eigenschaften sind für die Anwendung solcher Materialien für das Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Bovendien zijn de vereisten voor een correcte uitvoering van messings steeds strenger. Het moet duidelijk zijn dat ook luftempfindliche en pyrofore materialen met thermoanalytische methoden onderzocht kunnen worden. Verder is een Probenhandhabung bij Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.