첨단 재료 특성 분석: 반도체 산업의 고급 노드 설계를 위한 공정 재료 특성 분석을 위한 포괄적인 열 분석 방법

카스텐 비베스하이머와 크리스토프 쾨르버 박사, 머크 KGaA

열분석적 연구는 이미 재료 특성 분석에서 확립된 방법입니다. 기술의 조합 및 적용을 통해 반도체의 제조에 사용되는 재료의 특성에 대한 중요한 정보를 얻을 수 있습니다. 가스 분석기의 도움으로 가스 배출 프로세스의 특성을 파악하고 분해 프로세스 및 오염을 분석할 수 있습니다. 여기에는 감쇠 또는 감쇠율과 같은 물리학적 파라미터의 해석도 포함됩니다. 이러한 특성은 하이엔드 산업에서 고급 노드 설계를 위한 이러한 소재를 적용하는 데 매우 중요한 의미를 갖습니다. 따라서 메시징의 올바른 실행에 대한 요구 사항이 항상 강조되고 있습니다. 열분석 방법을 사용하여 열감지 및 고온 물질도 검색할 수 있어야 합니다. 따라서 불활성 조건에서의 측정은 매우 중요한 의미에서 매우 까다로운 측정 및 분석이 필요합니다.