Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie (Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie)

Carsten Biebesheimer ja Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Thermoanalytische Untersuchungen sind bereits etablierte Methoden in der Materialcharakterisierung. Durch Kombination bzw. Kopplung von Techniken können wichtige Information über die Eigenschaften von Materialien gewonnen werden, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwenden werden. Mithilfe von Gasphasenanalysen können Ausgasungsprozesse charakterisiert und examined sowie Zersetzungsprozesse und Verunreinigungen analysert werden. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck oder Verdampfungsraten. Diese Eigenschaften sind für die Anwendung solcher Materialien für das Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung. Darüber hinaus werden die Anforderungen an die korrekte Durchführung von Messungen immer anspruchsvoller. Es muss sicherzustellen werden, et also luftempfindliche und pyrophore Materialien mit thermoanalytischen Methodenuntersitchen können. Daher ist eine Probenhandhabung bei Messungen und inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.