Fortschrittliche Materialcharakterisierung: Umfassende thermoanalytische Methoden zur Charakterisierung von Prozessmaterialien für Advanced Node Design in der Halbleiterindustrie

Carsten Biebesheimer ve Dr. Christoph Körber, Merck KGaA

Termoanalitik İncelemeler, malzeme karakterizasyonunda eskiden beri kullanılan yöntemlerdir. Tekniklerin bir araya getirilmesi veya birleştirilmesi yoluyla, Halbleiterbauelementen'in üretimi için kullanılacak malzemelerin özellikleri hakkında önemli bilgiler elde edilebilir. Gasphasenanalysen können Ausgasungsprozesse charakterisiert und untersucht sowie Zersetzungsprozesse und Verunreinigungen analysiert werden. Dazu gehört auch die Erfassung physikalischer Parameter wie Dampfdruck order Verdampfungsraten. Bu özellikler, Halbleiter endüstrisinde Gelişmiş Düğüm Tasarımı için tek başına malzeme kullanımını çok önemli hale getirmektedir. Öte yandan, Messungen'in korrekte Durchführung'una yönelik talepler her zamankinden daha fazla olacaktır. Luftempfindliche und pyrophore Materialien mit thermoanalytischen Methoden untersucht werden können, Es muss sichergestellt werden. Daher ist eine Probenhandhabung bei Messungen unter inerten Bedingungen mit ultraniedrigem Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehalt von eminenter Bedeutung.